清潔測量面：用干凈軟布，像是鏡頭布或麂皮，輕輕擦拭測砧和測微螺桿的測量面。若有頑固油污或指紋，可用布蘸少量高純度酒精或專用儀器清潔劑擦拭，嚴禁使用汽油、丙酮等強腐蝕性溶劑。確保測量面清潔干燥后，再收回尺架。
保持尺身清潔：借助軟布擦拭尺架、微分筒與測砧外部，去除手汗、灰塵及油污。
正確歸位：存放時別將測微螺桿緊鎖在測量面上，以防金屬熱脹冷縮產生內應力，干擾精度。需在測砧與測微螺桿間留出 0.5 至 1mm 的間隙，可旋退螺桿或利用校正桿維持此間隙。
輕拿輕放：防止掉落或碰撞，撞擊易造成螺桿彎曲或測量面損傷，致使精度喪失。
建議每 1 至 3 個月或頻繁使用后執行一次。需準備高純度工業酒精或專用儀器清潔劑、干凈軟布、麂皮、棉簽、三豐千分尺專用防銹油（推薦 No.16-101 或同類產品）、吹塵球（可選）。
外部清潔：軟布蘸少量清潔劑，全面擦拭尺架、隔熱板、鎖緊裝置等外部部件后，用干布擦干。
清潔螺桿和內孔：旋出測微螺桿至可見部分螺桿螺紋，以蘸有清潔劑的棉簽，輕柔擦拭裸露的螺桿螺紋與固定套筒內孔，清除舊油污和磨屑，再用干棉簽擦凈，保障清潔干燥。注意，無需完全旋出螺桿，以防損壞精密部件。
重新潤滑：在清潔干燥的螺桿螺紋上涂極少量三豐專用防銹油，一滴足矣。可用棉簽或手指蘸一滴涂抹，之后反復旋轉微分筒，讓螺桿來回移動，使油膜均勻覆蓋螺紋嚙合面。避免涂油過多，否則易粘附灰塵或污染測量面。
檢查零位：保養結束，用鏡頭布再次清潔兩測量面。旋轉棘輪柄使測量面輕觸（棘輪咔嗒約 3 響），查看微分筒 “0” 刻度線是否與固定套筒水平基準線對齊。若偏差超 ±1 刻度，需由專業人員校準。
放入原裝盒：閑置時務必放回原裝塑料盒或木盒。
環境要求：存放于陰涼、干燥、無灰塵、無振動之處，規避陽光直射與大幅溫度變化。理想存放柜濕度≤60%，溫度處于 10 至 30℃。
防潮防銹：潮濕環境或季節，可在工具箱放干燥劑。長期存放前，可為金屬表面薄涂防銹油。
遠離磁場：因千分尺為金屬制品，強磁場會對其產生不良作用。
缺油，需拆解后用煤油清洗內部，重新涂抹潤滑油，自潤滑型則需更換帶潤滑劑的活塞組件。
安裝偏移導致的異常磨損：重新校準安裝面，確保氣缸安裝面與運動方向垂直，用直角尺檢查垂直度允差 0.1mm/100mm，調整后緊固螺絲。若活塞桿或缸蓋已劃傷，需更換對應部件。
