驅動速度：CNC 模式下各軸最大 300mm/s，測量速度為 1-5mm/s；J/S 高速模式是 0-80mm/s，低速及觸碰速度均為 0-3mm/s。
驅動加速度：各軸 375mm/s2，最大合成加速度 562mm/s2。
依據 ISO 10360-2:2009（JIS B 7440-2:2013）標準，使用 REVO+RSP2+RSH250 配置時，溫度環境 1 中的最大允許長度測量誤差 MPE 為 2.9 + 4L/1000 μm；使用 REVO+RSP3-3+RSH3 配置時，MPE 可達 2.5 + 3L/1000 μm（L 為測量長度，單位是 mm）。精度保證的溫度范圍為 16-26℃，要求 24 小時內溫度變化不超 5℃，每米溫度分布差不超 1℃。
最大可承載 2000kg 的工件，設備自身質量（含控制裝置與安裝臺）達 4050kg。
CMM 本體使用空氣壓為 0.4MPa，REVO 探頭需 0.5MPa，空氣標準消耗量 150L/min，需配備不低于 0.6MPa、230L/min 的氣源供應。
高速掃描與采點：憑借 5 軸協同，其掃描速度最高達 500mm/s，遠超 3 軸掃描機，并支持每秒 4000 點的高速采點，能快速收集高密度點云數據。
適應復雜工件：探頭垂直方向（A 軸）轉動范圍為 -5° 至 120°，可靈活調整角度，易于接近復雜工件的難測區域，縮短編程與測量用時。
長測針高精度：其內置激光傳感技術，即便采用 500mm 長測針，也可抑制誤差，保障測量精度。
